CF<sub>4</sub> - Tetrafluorometano
Tetrafluorometano, conocido sobre todo por el nombre comercial Freón 14 (Dupont). El CF4 es un gas de proceso que se emplea a menudo en procesos de recubrimiento mediante polimerización por plasma. Sirve para generar superficies fluoradas, especialmente durante la epilamización, la fabricación de una superficie perfluorada.
El tetrafluorometano (CF4) equivale a una molécula de metano con los 4 enlaces de hidrógeno sustituidos por flúor. <br/>Se trata de un gas de proceso utilizado con frecuencia en los procesos con plasma, sobre todo, en los procesos de grabado. En condiciones normales, el tetrafluorometano (CF4, también denominado Freón 14) resulta totalmente inerte; en cambio, en el plasma forma átomos de flúor y radicales de CF2 y CF3, que ejercen un fuerte efecto de grabado, p. ej., sobre el dióxido de silicio. Las mezclas de CF4 y O2 producen un grabado aprox. 5 veces más rápido que el del oxígeno puro.
