CF<sub>4</sub>

Tetrafluorometano, conocido sobre todo por el nombre comercial Freón 14 (Dupont). El CF4 es un gas de proceso que se emplea a menudo en procesos de recubrimiento mediante polimerización por plasma. Sirve para generar superficies fluoradas, especialmente durante la epilamización, la fabricación de una superficie perfluorada. 

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