Глоссарий технологии обработки поверхностей
CF4 - Тетрафторметан
4 – это часто используемый в плазменной полимеризации для нанесения покрытий технологический газ. Он служит для получения фторированных поверхностей, в первую очередь при эпиламировании – получении перфторированной поверхности.
4 соответствует молекуле метана, в которой все 4 водородных соединения были заменены фтором.
В плазменных процессах часто используемый технологический газ, в особенности в процессах травления. Тетрафторметан (CF4, обозначается также как Freon 14) при нормальных условиях полностью инертный, но в плазме образует свободные атомы фтора, а также радикалы CF2 и CF3. Они обладают сильным действием травления, например на диоксид кремния. Скорости травления смесями из CF4 и O2 прибл. в 5 раз выше, чем у чистого кислорода.
