sccm

Steht für "Standard Cubic Centimeter per Minute".

Ein Standard Cubic Centimeter ist die Masse bzw. die Teilchenzahl eines Gases bei den Normbedingungen: T = 0°C und p = 1013,25 hPa.

Die Messgröße sccm ist also ein Maß für den Gastransport durch eine Vakuumpumpe bzw. durch eine Gasleitung.