Glossaire de la technologie de surface
sccm
Abréviation de « Standard Cubic Centimeter per Minute ».
Un centimètre cube standard est la masse ou le nombre de particules d'un gaz dans les conditions normales : T = 0°C et p = 1013,25 hPa.
La quantité mesurée sccm est donc une mesure du transport du gaz à travers une pompe à vide ou une conduite de gaz.