Glossaire de la technologie de surface

sccm

Abréviation de « Standard Cubic Centimeter per Minute ».

Un centimètre cube standard est la masse ou le nombre de particules d'un gaz dans les conditions normales : T = 0°C et p = 1013,25 hPa.

La quantité mesurée sccm est donc une mesure du transport du gaz à travers une pompe à vide ou une conduite de gaz.

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