
Lessico della tecnologia delle superfici
sccm
Acronimo di "Standard Cubic Centimeter per Minute” (centimetro cubo standard al minuto).
Si tratta della massa o del numero di particelle di un gas in condizioni standard: T = 0°C e p = 1013,25 hPa.
L’unità di misura sccm viene pertanto usata per indicare il trasporto di gas attraverso una pompa per vuoto o attraverso un gasdotto.