Lessico della tecnologia delle superfici

sccm

Acronimo di "Standard Cubic Centimeter per Minute” (centimetro cubo standard al minuto).

Si tratta della massa o del numero di particelle di un gas in condizioni standard: T = 0°C e p = 1013,25 hPa.

L’unità di misura sccm viene pertanto usata per indicare il trasporto di gas attraverso una pompa per vuoto o attraverso un gasdotto.

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