sccm

Сокращение от «Standard Cubic Centimeter per Minute».

Стандартный кубический сантиметр – это масса или количество частиц газа при стандартных условиях: T = 0°C и p = 1013,25 гПа.

Таким образом, sccm является мерой транспортировки газа через вакуумный насос или газопровод.