Glosario de tecnología de superficies
sccm
Abreviatura de "Standard Cubic Centimeter per Minute" (centímetros cúbicos estándar por minuto).
Un centímetro cúbico estándar es la masa o el número de partículas de un gas en condiciones normales: T = 0 °C y p = 1013,25 hPa.
La unidad sccm permite medir, por tanto, el transporte de gas por una bomba de vacío o un conducto de gas.