Generator

In der Plasmatechnik bezeichnet man die Einheit als Generator, die die Spannung (meist Wechselspannung) zur Anregung des Plasmas zur Verfügung stellt. Anhand der Frequenz der erzeugten Wechselspannung unterscheidet man LF-Generatoren (40kHz), RF-Generatoren (13,56/27,12 MHz) und Mikrowellen-Generatoren (2,45 GHz).