Elektrode

Eine Elektrode ist ein elektrisch geladenes leitfähiges Bauteil. Zwischen der Elektrode und elektrischen Leitern anderer Ladung, im Allgemeinen einer zweiten Elektrode (Gegenelektrode "Anode" – "Kathode") wird ein elektrisches Feld ausgebildet. 

Durch diese elektrischen Felder wird auch technisches Plasma angeregt, wobei zu unterscheiden ist zwischen:

• Hochspannungselektroden, die so hohe lokale Feldstärken erzeugen, dass ein Plasma durch Gasentladung entsteht, wie bei der Erzeugung einer Corona oder eines Atmosphärendruckplasmas.
• Hochfrequenzelektroden, die zur Anregung eines Plasmas durch hochfrequente Wechselfelder verwendet werden. Bei Anregungsfrequenzen zwischen Kiloherz und Gigaherzbereich kann im Vakuum ein Plasma bei geringeren Feldstärken erzeugt werden. Dadurch können homogene Plasmen auch in großen Volumen erzeugt werden.

Um das Plasma in der Niederdruckkammer zu zünden, können verschiedene Elektroden verbaut werden:

• Etagenelektrode
• Drehtrommel
• RIE-Elektrode
• PE-Betrieb
• Potentialfrei
• Umschaltbare Elektrodenkonfiguration