Plasmadüse

Der Plasmaerzeuger einer atmosphärischen Plasmaanlage (Plasmabeam) umfasst Hochspannungselektroden zur Erzeugung einer Coronaentladung und eine Plasmadüse, durch die das in der Corona erzeugte Plasma mit dem Prozessgas ausgeblasen wird.

Zur optimalen Abstimmung auf den Behandlungsvorgang und auf das Substratmaterial gibt es verschiedene Düsenformen.