GHz-Plasmaanlage

Plasmaanlagen, die mit Plasmageneratoren im Frequenzbereich von einigen Gigahertz betrieben werden. Für technische Zwecke ist in diesem Bereich die ISM-Frequenz 2,45 MHz freigegeben. Diese Frequenz entspricht einer Wellenlänge im Bereich von Mikrometern, so dass eine solche Anlage auch als Mikrowellen-Plasmaanlage bezeichnet wird, zur Unterscheidung gegenüber RF-(Radio Frequency), und LF (Low Frequency)-Anlagen bzw. -Generatoren, die mit Frequenzen im MHz- bzw. kHz-Bereich arbeiten.

Die Mikrowellenanregung erfolgt nicht über Elektroden, sondern über ein außerhalb des Plasmas angeordnetes Magnetron