Гигагерцовая плазменная установка

Плазменные установки, работающие с плазменными генераторами в гигагерцовом диапазоне частот. Для технических целей в этом диапазоне выделена ISM-частота 2,45 ГГц . Эта частота соответствует длине волны в микрометровом диапазоне, поэтому такие установки называют также микроволновыми – для сопоставления с установками и генераторами ВЧ (RF, Radio Frequency) и НЧ (LF, Low Frequency) диапазонов, работающими в мега- и килогерцовых диапазонах. Микроволновое возбуждение осуществляется не электродами, а расположенным за пределами плазмы внешним магнетроном