Impianto al plasma a GHz

Impianti al plasma alimentati da generatori di plasma nella gamma di frequenza di diversi gigahertz. Per scopi tecnici, in questa gamma viene emessa la frequenza ISM di 2,45 MHz. Questa frequenza corrisponde ad una lunghezza d'onda nella gamma dei micron, per cui tale sistema è noto anche come sistema al plasma a microonde, per distinguerlo dai sistemi RF (radiofrequenza) e LF (bassa frequenza) o dai generatori che operano con frequenze nella gamma dei MHz o kHz. L'eccitazione a microonde non avviene per mezzo di elettrodi, ma per mezzo di un magnetron che si trova all'esterno del plasma.