Système plasma GHz

Systèmes plasma fonctionnant avec des générateurs de plasma dans la plage de fréquences de plusieurs gigahertz. La fréquence ISM de 2,45 MHz est débloquée à des fins techniques dans cette plage. Cette fréquence correspond à une longueur d'onde dans la plage des micromètres, de sorte qu'un tel système est également appelé système à micro-ondes, afin de le différencier des systèmes ou générateurs RF (radio-fréquence) et LF (basse fréquence) qui fonctionnent avec des fréquences dans la plage des MHz ou kHz. L'excitation par micro-ondes ne s'effectue pas par l'intermédiaire d'électrodes mais par un magnétron disposé à l'extérieur du plasma