Sistema de plasma en el rango de GHz

Sistemas de plasma que funcionan con generadores de tensión de plasma en el rango de frecuencias de varios gigahercios. En este rango, se autoriza la frecuencia ISM de 2,45 MHz para fines técnicos. Esta frecuencia equivale a una longitud de onda de varios micrómetros, por lo que un sistema de este tipo también se denomina sistema de plasma de microondas, para diferenciarlo de los sistemas y generadores de radiofrecuencia (RF) y de baja frecuencia (LF), que funcionan con frecuencias en el rango de MHz y kHz, respectivamente. La excitación de microondas no tiene lugar mediante electrodos, sino con un magnetrón dispuesto fuera del plasma.