Lessico della tecnologia delle superfici
Generatore
Nella tecnologia del plasma è denominato generatore l'unità che apporta la tensione (solitamente alternata) per eccitare il plasma . In base alla frequenza della tensione alternata generata, si distingue tra generatori LF (40kHz), generatori RF (13,56/27,12 MHz) e generatori di microonde (2,45 GHz).