Генератор

плазменной технике генератором называют узел, предоставляющий напряжение (в большинстве случаев переменное) для возбуждения плазмы . На основании частоты выходного переменного напряжения различают НЧ-генераторы (40 кГц), ВЧ-генераторы (13,56/27,12 МГц) и микроволновые генераторы (2,45 ГГц).