Glossaire de la technologie de surface

Générateur

Dans la technologie plasma, on appelle générateur l'unité fournissant la tension (généralement alternative) pour exciter le plasma. En fonction de la fréquence de la tension alternative générée, on distingue les générateurs LF (40kHz, les générateurs HF (13,56/27,12 MHz) et générateurs micro-ondes (2,45 GHz).

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