Epitaxie

Auf kristallinen Substraten können abgeschiedene Beschichtungen so wachsen, dass sie sich an der Kristallstruktur des Substrats orientieren und kristalline Beschichtungen bilden. Voraussetzung ist, dass das abgeschiedene Material in ähnlichen Formen kristallieren kann wie das Substrat. Häufig tritt Epitaxie bei der PVD-Beschichtung von Silizium-Wafern auf.

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