Epitaxia

En los sustratos cristalinos, los recubrimientos depuestos pueden desarrollarse de tal modo que se orienten siguiendo la estructura cristalina del sustrato y formen recubrimientos cristalinos. Para ello, el material depuesto debe poder cristalizar de formas similares a las del sustrato. Con frecuencia, se produce epitaxia en el recubrimiento con PVD de obleas de silicio.