Épitaxie

Les revêtements déposés peuvent se développer sur des substrats cristallins de manière à s'orienter sur la structure cristalline du substrat et à former des revêtements cristallins. La condition préalable est que le matériau déposé puisse se cristalliser sous des formes similaires à celles du substrat. L'épitaxie se produit fréquemment dans le revêtement PVD des plaquettes de silicium (wafers).

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