
Lessico della tecnologia delle superfici
Epitassia
Su substrati cristallini possono crescere depositi di rivestimenti orientati alla struttura cristallina del substrato e formare rivestimenti cristallini. Il requisito preliminare è che il materiale depositato cristallizzi in forme simili a quelle del substrato. Spesso si riscontra epitassia nel rivestimento PVD dei wafer di silicio.