TMMF

TMMF ist eine Serie von Dickfilm-Fotoresists des japanischen Unternehmens TOK. Es handelt sich um Fotoresist-Typen, die nicht in flüssiger Form, sondern als Selbstklebefilm aufgebracht werden. Da durch TMMF dickere Schichten aufgebracht werden (typisch 5 µm - 30µm) als durch Fotolacke können sehr tiefe Strukturen erzeugt werden. TMMF werden deshalb vor allem bei der Herstellung mikrofluider Systeme und MEMS eingesetzt.

TMMF hat sich für solche Anwendungen zum Branchenstandard entwickelt und wird deshalb als Synonym für Dickfilm-Fotoresists (engl: Dry Film Fotoresist DFR) verwendet

 

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