Lexikon der Oberflächentechnik

MEMS

Mikroelektromechanische Systeme:Mit Hilfe dieser Mikrosystemtechnik werden Computer mit kleinen mechanischen Geräten wie Sensoren, Ventilen, Getrieben, Spiegeln und Reglern verbunden, die in Halbleiter- Chips eingebettet sind. MEMS werden beispielsweise in Airbags von Kraftfahrzeugen als Beschleunigungsmesser eingesetzt. Sie sind kostengünstiger und zuverlässiger als herkömmliche Technologien. MEMS können Airbags aufgrund der wahrgenommenen Verlangsamung aufblasen unter Berücksichtigung der Größe der Person, die geschützt werden soll.

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