TMMF

TMMF è una serie di fotoresist a film spesso dell'azienda giapponese TOK. Si tratta di tipi di fotoresist non applicati in forma liquida, ma come pellicola autoadesiva. Il TMMF viene usato per applicare strati più spessi (tipicamente 5 µm - 30 µm) rispetto ai fotoresist, per cui si possono creare strutture molto profonde. I TMMF vengono pertanto utilizzati principalmente nella produzione di sistemi microfluidi e MEMS . TMMF è diventato lo standard industriale per tali applicazioni e viene quindi utilizzato come sinonimo di fotoresist a film spesso (ingl.: Dry Film Fotoresist, DFR)

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