TMMF

TMMF est une série de résines photosensibles à couche épaisse de la société japonaise TOK. Il s'agit de types de résines photosensibles appliquées sous forme de film auto-adhésif et non sous forme liquide. Vu que TMMF applique des couches plus épaisses (en principe de 5 µm à 30 µm) que les photoréserves, des structures très profondes peuvent être générées. Les TMMF sont par conséquent utilisés avant tout dans la fabrication de systèmes microfluidiques et MEMS. TMMF est devenu la norme de l'industrie pour de telles applications et est donc utilisé comme synonyme de photoréserve à film sec (en anglais : Dry Film Fotoresist DFR)

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