MFC

Mass Flow Controller. In Gasleitungen eingebaute präzise regelnde Bauteile zur Einstellung des Gasstroms. In PC-gesteuerten Plasmaanlagen regeln MFCs die Zufuhr des Prozessgases. Als optionales Zubehörteil können MFCs zur Prozesskontrolle auch für manuelle und halbautomatisch Niederdruck-Plasmaanlagen eingesetzt werden.