MFC

Débitmètre massique (Mass-Flow-Controller) Composants de régulation de précision montés dans les conduites de gaz pour régler le débit de gaz. Dans les systèmes plasma commandés par PC, les MFC contrôlent l'alimentation en gaz de traitement. En tant qu'accessoire optionnel, les MFCs peuvent être également utilisés pour le contrôle de processus dans des systèmes plasma basse pression manuels et semi-automatiques.