MFC
Abreviatura de Mass Flow Controller (controlador de flujo de masa). Componentes incorporados en conductos de gas y regulados con precisión, que permiten ajustar el flujo de gas. En los sistemas de plasma controlados por PC, los MFC regulan el suministro del gas del proceso. Como accesorio opcional, también pueden usarse MFC para controlar el proceso en sistemas de plasma de baja presión manuales y semiautomáticos.
