MFC

Mass-Flow-Controller (regolatore del flusso di massa). Componenti di precisione installati nelle tubazioni del gas per la regolazione del flusso di gas. Negli impianti al plasma controllati da PC, gli MFC controllano l'alimentazione del gas di processo. Gli MFC possono essere utilizzati come accessorio opzionale anche per il controllo del processo in impianti al plasma a bassa pressione manuali e semiautomatici.