Self-Bias

Eine kapazitiv entkoppelte (durch einen Kondensator vom Generator getrennte) Hochfrequenzelektrode, die mit Hochfrequenz im MHz-Bereich betrieben wird, lädt sich im Niederdruckplasma negativ auf. Die schweren positiven Ionen sind zu träge um der hohen Frequenz des Wechselfeldes zu folgen, aber die leichten Elektronen tun dies ohne Probleme. Dadurch wird die Arbeitselektrode zunehmend negativ aufgeladen, weil Elektronen durch die kapazitive Entkopplung nicht abfließen können. Dadurch wird eine Biasspannung aufgebaut, durch die positive Ionen auf diese negativ geladene Elektrode beschleunigt werden. Wenn auf dieser negativ geladenen Elektrode ein Substrat lagert, dann wird es durch die Ionen beschossen. Diesen Effekt nutzt man zum Ionenätzen (physikalisches Ätzen).

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