Biasspannung

Wenn einer mit Wechselspannung betriebenen Elektrode ein Gleichspannungsanteil überlagert ist, dann bezeichnet man diesen Gleichspannungsanteil als Biasspannung.

Im Niederdruckplasma nutzt man die durch Aufladung bewirkte Self-Bias-Spannung beim Ionenätzen.

Mit dem Messgerät Biasspannungsmessung, welches für kHz- und MHz-Generatoren erhältlich ist, lässt sich die Biasspannung messen.