Autopolarización

Un electrodo de alta frecuencia con separación capacitiva (respecto al generador de tensión por medio de un condensador) y funcionamiento a alta frecuencia, en el rango de MHz, se carga negativamente en el plasma de baja presión. Los iones positivos, de mayor peso, son demasiado lentos para seguir la alta frecuencia del campo alterno, mientras que los electrones, más ligeros, lo logran sin dificultad. Esto provoca una carga negativa cada vez mayor en el electrodo de trabajo, ya que los electrones no pueden escapar debido a la separación capacitiva. En consecuencia, se establece una tensión de polarización, que causa la aceleración de los iones positivos hacia dicho electrodo con carga negativa. Si se coloca un sustrato sobre dicho electrodo cargado negativamente, se expone a bombardeo de iones. Este efecto se aprovecha en el grabado iónico (grabado físico).