Auto-bias

Un elettrodo ad alta frequenza disaccoppiato capacitivamente (separato dal generatore tramite un condensatore), funzionante ad alta frequenza nella gamma dei MHz,si carica negativamente nel plasma a bassa pressione.  I pesanti ioni positivi sono troppo lenti per seguire l'alta frequenza del campo alternato, mentre i leggeri elettroni lo fanno senza problemi. Di conseguenza, l'elettrodo di lavoro si carica sempre più negativamente poiché gli elettroni non possono fuoriuscire a causa del disaccoppiamento capacitivo. Si crea così una tensione bias, che accelera gli ioni positivi sull'elettrodo caricato negativamente. Se si deposita un substrato su questo elettrodo caricato negativamente, viene bombardato dagli ioni. Questo effetto viene utilizzato per acidatura ionica (acidatura fisica).