Self-bias (auto-polarisation)

Une électrode haute fréquence à découplage capacitif (séparée du générateur par un condensateur), fonctionnant à haute fréquence dans la plage des MHz, se charge négativement dans le plasma basse pression.  Les ions positifs lourds sont trop lents pour suivre la fréquence élevée du champ alternatif, mais les électrons légers le font sans problème. En conséquence, l'électrode de travail devient de plus en plus chargée négativement car les électrons ne peuvent pas s'écouler en raison du découplage capacitif. Il en résulte une tension de polarisation qui accélère les ions positifs sur cette électrode chargée négativement. Si un substrat est déposé sur cette électrode chargée négativement, il est bombardé par les ions. Cet effet est utilisé pour la gravure ionique (gravure physique).