Автоматическое смещение

генератора ) высокочастотный электрод, работающий с высокой частотой в МГц-диапазоне, в плазме низкого давления получает отрицательный заряд. Тяжелые положительные ионы слишком инертны, чтобы следовать высокой частоте переменного поля, однако легкие электроны делают это без проблем. Из-за этого отрицательный заряд рабочего электрода все более увеличивается, т.к. электроны не могут стекать ввиду емкостной развязки. Возникает напряжение смещения, под действием которого положительные ионы ускоряются в направлении отрицательно заряженного электрода. Если на отрицательно заряженном электроде разместить субстрат, он будет обстреливаться ионами. Этот эффект используется для ионного травления (физического травления).

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете