Plasmacleaner

Im Allgemeinen können Niederdruck-Plasmaanlagen für unterschiedliche Plasmaprozesse eingesetzt. Eine wesentlicher Plasmaprozess ist die Reinigung. Grundsätzlich ist die Reinigung immer allen weiteren Plaasmaprozessen vorgeschaltet. Eine universell einsetzbare Niederdruck-Plasmaanlage wird deshalb ebenso wie auf Reinigungsprozesse optimierte Anlagen als Plasmacleaner bezeichnet.