Glossaire de la technologie de surface
Nettoyage au plasma
En général, il est possible d'utiliser des systèmes plasma basse pression pour divers processus plasma. Un processus plasma essentiel est le nettoyage. En général, le nettoyage est toujours activé avant tous les autres processus plasma. C'est la raison pour laquelle on appelle « plasmacleaner » toutsystème plasma basse pression, de même que des installations optimisées pour des processus de nettoyage.