Pirani-Sensor

Drucksensor, dessen Messprinzip auf der Änderung der Wärmeleitfähigkeit des Gases in Abhängigkeit vom Gasdruck beruht. Auch als Wärmeleitfähigkeitsvakuummeter bezeichnet. Der Arbeitsbereich liegt zwischen 10 und 10^-3 mbar. Häufiger Einsatz in Plasmaanlagen.