Pirani-Sensor

Drucksensor, dessen Messprinzip auf der Änderung der Wärmeleitfähigkeit des Gases in Abhängigkeit vom Gasdruck beruht. Auch als Wärmeleitfähigkeitsvakuummeter bezeichnet. Der Arbeitsbereich liegt zwischen 10 und 10-3 mbar. Häufiger Einsatz in Plasmaanlagen.

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