Glosario de tecnología de superficies
Sensor Pirani
Sensor de presión con un principio de medición basado en la modificación de la conductividad térmica del gas en función de la presión. También se denomina vacuómetro de conductividad térmica. Su rango de trabajo oscila entre 10 y 10–3 mbar. Se utiliza a menudo en los sistemas de plasma.