Lexikon der Oberflächentechnik

Plasmadichte

Anteil der Ionen im Verhältnis zu nichtionisierten Atomen oder Molekülen in einem Plasma. In einem Plasma sind nie alle Atome oder Moleküle ionisiert, weil es parallel zur Ionisierung auch laufend zur Rekombination von Elektronen und Ionen kommt.
Je höher die Anregungsleistung ist und je geringer die Gasdichte, um so höher ist die Plasmadichte.

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