
Глоссарий технологии обработки поверхностей
Микроволновая техника
плазма. Плазма не контактирует с магнетроном, ответственным за возбуждение. Плотность плазмы и доля радикалов очень высоки в микроволновой плазме. Благодаря этому обеспечивается особенно высокая скорость травления.