Barrel Plasma Etcher

Hohe Ätzraten beim anisotropen Plasmaätzen erreicht man insbesondere im Barrel Reaktor mit HF-Anregung im MHz-Bereich. Deshalb werden Plasmaanlagen, die primär oder ausschließlich für Plasmaätzen eingesetzt werden, bevorzugt als Barrel-Reaktoren ausgelegt. Barrel Plasma Etcher werden beispielsweise bei der Fotolackveraschung eingesetzt.

Näheres unter ⇒ Barrel-Reaktor

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