Бочкообразное устройство плазменного травления

плазменного травления достигаются в бочкообразном реакторе с ВЧ-возбуждением в МГц-диапазоне. По этой причине плазменные установки, используемые исключительно или в основном для плазменного травления , выполняются с бочкообразными реакторами. Бочкообразные устройства плазменного травления используются, например, в озолении фоторезиста . Дополнительная информация ⇒ Бочкообразный реактор