Бочкообразное устройство плазменного травления

плазменного травления достигаются в бочкообразном реакторе с ВЧ-возбуждением в МГц-диапазоне. По этой причине плазменные установки, используемые исключительно или в основном для плазменного травления , выполняются с бочкообразными реакторами. Бочкообразные устройства плазменного травления используются, например, в озолении фоторезиста . Дополнительная информация ⇒ Бочкообразный реактор

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете