Impianto di acidatura al plasma a tamburo

Elevate velocità di acidatura al plasma anisotropo si ottengono soprattutto nei reattori a tamburo con eccitazione HF nella gamma MHz. Per questo motivo, gli impianti al plasma utilizzati prevalentemente o esclusivamente per acidatura al plasma sono preferibilmente concepiti come reattori a tamburo. Gli impianti di acidatura al plasma a tamburo vengono impiegati ad es. per l’incenerimento del materiale fotoresistente. Per maggiori informazioni si rinvia a ⇒ Reattore a tamburo

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