Grabador de plasma de barril

En el grabado con plasma anisotrópico, pueden lograrse tasas de grabado especialmente elevadas en el reactor de barril con excitación de alta frecuencia, en el rango de MHz. En consecuencia, se prefiere diseñar los sistemas de plasma que deban emplearse fundamental o exclusivamente para el grabado con plasma en forma de reactores de barril. Los grabadores de plasma de barril se utilizan, por ejemplo, en la incineración de laca fotosensible. Ver más información en ⇒ Reactor de barril

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