Barrel-Reaktor

Auch "Rohr- oder Tunnel-Reaktor". Zylindrische Plasmaanlage, die in axialer Richtung vom Prozessgas durchströmt wird. Bei HF-Anregung durch MHz-Strahlung ist eine Elektrode als Zylinder, die zweite im Zentrum des Zylinders als Platte ausgebildet. Diese zweite Elektrode dient im Allgemeinen auch als Warenträger. Diese Reaktorausführung wird bevorzugt für Plasmaätzprozesse eingesetzt, bei denen der direkte Ionenbeschuss des Substrats vermieden werden soll. Beim Plasmaätzen im Barrelreaktor lassen sich bei MHz-Anregung hohe Ätzraten erzielen.

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