Abtragen
Entfernung von Material von einer Oberfläche, insbesondere durch einen Plasmaätzprozess. Verschiedene Prozesse wie chemisches Ätzen, Ionenätzen, Reaktives Ionenätzen oder Mikrosandstrahlen entfernen Moleküle oder Molekülschichten von einer Oberfläche. Die Geschwindigkeit, mit der Oberflächenschichten abgetragen werden, bezeichnet man als Abtragungsrate.
