
Enlèvement
Enlèvement du matériau d'une surface, en particulier par gravure plasmatique. Divers processus tels que la gravure chimique, la gravure ionique, la gravure ionique réactive ou le micro-sablage enlèvent des molécules ou des couches de molécules d'une surface. La vitesse d'enlèvement de couches surfaciques est appelée taux de déperdition