Tetra 30

SYSTÈMES PLASMA BASSE PRESSION (NETTOYAGE AU PLASMA)

DEMANDE   Fiche technique (PDF)

Les systèmes plasma Tetra 30 sont utilisés principalement dans les secteurs suivants :

  •     Analytique (MEB, MET)
  •     Archéologie
  •     Automobile
  •     Biotechnologie
  •     Technologie de l'élastomère
  •     Électrotechnique
  •     Microscopie électronique
  •     Mécanique de précision
  •     Recherche et développement
  •     Technologie des semi-conducteurs
  •     Production en petites séries
  •     Plasturgie
  •     Technologie médicale
  •     Technologie des microsystèmes
  •     Cellules photovoltaïques
  •     Ingénierie textile

Divers modèles

Modèle 1

Modèle 1, système standard
commande PC BASIC dans l'appareil de base type A
Chambre à vide, rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
(larg. : 305 mm, P : 370 mm, H : 300 mm)
Alimentation en gaz : 
MFC

Modèle 2

Modèle 2, système standard
commande FULL PC dans l'appareil de base type A
Chambre à vide, rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
(larg. : 305 mm, P : 370 mm, H : 300 mm)
Alimentation en gaz :
MFC

Modèle 3

Modèle 3, système pour gaz corrosif (p. ex. pour gaz de processus fluorés)
commande PC BASIC dans l'appareil de base type A
(larg. 600 mm x P 800 mm x H 1.700 mm)
Chambre à vide, rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
(larg. : 305 mm, P : 370 mm, H : 300 mm)
Alimentation en gaz :
MFC

Modèle 4

Modèle 4, système pour gaz corrosif (p. ex. pour gaz de traitement fluorés)
commande FULL PC dans l'appareil de base type A
(larg. 600 mm x P 800 mm x H 1.700 mm)
Chambre à vide, rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
(larg. : 305 mm, P : 370 mm, H : 300 mm)
Alimentation en gaz :
MFC

Modèle 5

Modèle 5, système de polymérisation plasma
commande PC BASIC dans l'appareil de base type A
(larg. 600 mm x P 800 mm x H 1.700 mm)
Chambre à vide, rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
(larg. : 305 mm, P : 370 mm, H : 300 mm)
Alimentation en gaz :
MFC

Modèle 6

Modèle 6, système de polymérisation plasma
commande FULL PC dans l'appareil de base type A
(larg. 600 mm x P 800 mm x H 1.700 mm)
Chambre à vide, rectangulaire, aluminium, porte à charnière,
(larg. : 305 mm, P : 370 mm, H : 300 mm)
Alimentation en gaz :
MFC

Caractéristiques techniques

Équipement de base

  •     La taille de l’équipement varie en fonction des composants/options
  •     Volume de chambre : 34 - 57 litres, suivant la version
  •     Alimentation en tension : 230 V ou 400 V / 3 phases

Alimentation en gaz

  • Débitmètres massiques (Mass-Flow-Controller (MFCs))

Chambres à vide

  • Acier inoxydable rectangulaire, porte à charnière (larg. 305 mm x H 300 mm x P 370 mm ou 625 mm env.)
  • Aluminium rectangulaire, porte à charnière (larg. 305 mm x H 300 mm x P 370 mm ou 625 mm env.)

Chargement

  • Support de pièce (option : refroidissement à eau), récipients en verre de quartz, tambour rotatif pour poudres, tambour rotatif pour pièces en vrac, tôle d'aluminium, tôle en acier inoxydable, verre borosilicate, verre de quartz

Électrodes

  •     Un ou plusieurs niveaux
  •     Électrode RIE avec douche de gaz

Systèmes de commande

  •     Commande PCCE (Microsoft Windows CE)
  •     Commande PC (Microsoft Windows 10 IoT)

Mesure de pression

  •     Pirani
  •     Manomètre capacitif (pour version gaz corrosif)

Minuterie

  • intégrée dans le PC

Générateurs

Fréquences :

  • 80 kHz : puissance 1000 W ou 3000 W
  • 13,56 MHz : puissance 0- 300 W  ; 0 - 600 W
  • 2,45 GHz : puissance 0- 600 W  ; 0 - 1200 W

Tous les générateurs sont progressivement réglables de 0 à 100 %

Pompes à vide

  • En plusieurs tailles et provenant de différents fabricants (avec filtre à charbon actif, si nécessaire)

Autres options

Kits de pièces de rechanges, Manomètre, Version gaz corrosifs, Bouteilles de gaz, Réducteur de pression, Plaque de chauffe, Indicateur de température, Chambre chauffante, Cage de Faraday, Accessoires pour polymérisation plasma, Encres de test, Générateur d'oxygène, Aération lente, Pompage lent, Bride porte-échantillon MET, Maintenance/Service, Documentation dans la langue nationale, Installation sur site y compris formation. Autres options sur demande.

+49 7458 99931-0

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info@plasma.com

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